日立、旭化成など、有機薄膜トランジスタのアレイ形成技術を開発

　２３日、日立製作所、旭化成、産業技術総合研究所（産総研）、光産業技術振興協会（光協会）は、経済産業省、新エネルギー・産業技術総合開発機構（ＮＥＤＯ）の支援・委託を受けて、塗布製法によって、有機薄膜トランジスタ（有機ＴＦＴ）をマトリックス上に配置して形成するアレイ形成技術を開発したと発表した。

　同技術は、液晶ディスプレイの画素スイッチに、有機ＴＦＴアレイを利用するためのもの。

　今回、半導体膜、ゲート絶縁膜及び保護膜の形成に、低コスト化に有利な塗布製法を用いるとともに、従来、塗布製法による有機ＴＦＴの課題であった半導体膜中に結晶粒界が生成されるのを抑制し、移動度性能を改善することに成功し、画面サイズ５インチ、ＲＧＢ表示方式で画素数２４０×３２０のディスプレイに対応する有機ＴＦＴアレイを試作したところ、トランジスタの移動度が平均値０．１ｃｍ２／Ｖ・ｓを超え、小型液晶ディスプレイで利用可能な性能が得られたという。

　有機ＴＦＴ技術は、次世代表示デバイスとして期待されるシートディスプレイを低コストで製造する技術として注目されているが、今回の開発により、その実用化に向けて大きく前進した。

　４者は、今後、半導体膜及びゲート絶縁膜の形成温度を低下させ、プラスチック基板上へ有機ＴＦＴアレイを形成することで、高品質な超薄型ディスプレイの開発を目指していく方針。