キヤノンMJ、ナノインプリント装置市場へ参入

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　９日、キヤノンマーケティングジャパン（キヤノンＭＪ）は、スウェーデンのＯｂｄｕｃａｔ社と、同社製のナノインプリント装置の日本国内における独占販売契約を締結し、３月１日より同装置の販売を開始すると発表した。これにより、キヤノンＭＪは、ナノインプリント装置市場へ参入する。

　昨今の偏光素子やマイクロレンズアレイ、ＬＥＤ（発光ダイオード）といった光学部品の微細化・多機能化と、磁気ディスクや光ディスクなどストレージデバイスの高密度化にともない、各種産業デバイスの基板に微細なパターンを形成するニーズが高まってきているという。

　ナノインプリント装置は、スタンパ（原版）を基板上に塗布したレジスト（感光性樹脂）に押しあてて形状を転写することで、光学部品などにナノ（＝１０億分の１）メートルレベルの微細加工を施す装置で、従来の露光方式に比べ低コストで生産することが可能。

　Ｏｂｄｕｃａｔ社のナノインプリント装置は、熱とＵＶ（紫外線）を用いて基板全面に一括転写する方式を採用しており、空気圧を利用した同社独自のＳｏｆｔＰｒｅｓｓテクノロジーにより、基板全面へ均一に微細パターンを転写することができるとし、温度制御と紫外線照射を同時に行うＳＴＵ（Ｓｉｍｕｌｔａｎｅｏｕｓ Ｔｈｅｒｍａｌ ａｎｄ ＵＶ）テクノロジーの採用により、基板への正確なパターン転写も実現しているという。マスタースタンパと基板が直接接触するのを避けることが可能なＩＰＳ（Ｉｎｔｅｒｍｅｄｉａｔｅ Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｓｔａｍｐ）技術により、スタンパの長寿命化を図るとともに、ほこりなどの異物が付着した際の転写不良を最小限に抑えるなど、歩留まりを大幅に向上させている。

　キヤノンＭＪは、これまで半導体製造装置や液晶パネル製造装置、計測装置など、先端産業向けの各種装置を提供してきたが、今回新たにナノインプリント装置市場に参入することにより、産業機器分野のビジネスをさらに拡充していく方針。

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