東芝とサンディスク、世界最大級のNAND型フラッシュメモリ新製造棟を竣工

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• 東芝四日市工場第四製造棟

　東芝とサンディスクコーポレーションは４日、東芝四日市工場（三重県四日市市）で３００ミリウェハーに対応したＮＡＮＤ型フラッシュメモリ新製造棟（第四製造棟）の竣工式を行ったと発表した。ＮＡＮＤ型フラッシュメモリは、携帯電話や音楽プレーヤ、パソコン、メモリカードなどデジタル機器向けに需要拡大を続けており、新棟はこれに対応して昨年８月から東芝が建設を進めていたもの。

　新棟では、今年１２月に量産を開始し、２００８年後半には月産８万枚まで生産能力を整備する計画。その後も市場動向に応じた追加投資を実施し、フル生産時にはＬＳＩ製造棟単独の生産能力としては世界最大級の月産２１万枚程度に達する見込み。微細加工技術としては、当初５６ｎｍ（ナノメートル）プロセスを採用し、２００８年３月以降順次、次世代４３ｎｍプロセスに移行する予定。また、自然災害の影響を抑えるため、地震による建物の揺れを１／３程度まで抑える最新の免震構造や、落雷時の製造用電力の変動を防ぐ電圧補償装置を備えている。

　新棟向け設備投資のうち、建物の建設費用は東芝が負担し、内蔵装置の費用は、東芝とサンディスクの折半出資による合弁会社フラッシュアライアンス社が負担する。

　東芝とサンディスクは、今回の第四製造棟に最先端の微細化技術や多値化技術を導入して競争力をさらに強化し、今後も市場におけるリーダシップを堅持していく計画。